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        ELA系列超精密直線伺服氣浮平臺
        瀏覽:281 發布日期:2021-10-08?

        由一派數控與德國AeroLas聯合開發的ELA系列超精密平臺,是以直線電機為驅動,微孔氣浮導軌為支撐,控制精度在0.5~0.1微米的多軸運動平臺,是高端電子、光學、芯片等工業領域精密加工和精密檢測的首選伺服裝置。其顯著特點是:

        ●所有運動部件均無接觸摩擦,無過定位;

        ●所有運動軸系布置在一個平面上,最大限度地提高平臺結構的穩定性和工件移動時的平面度。

        ELA系列主要技術參數:

        技術指標描述

        X/Y行程

        X/Y速度

        X/Y軸加速度

        X/Y軸絕對定位精度

        X/Y軸重復定位精度

        單軸直線度

        C軸轉角

        C軸轉角絕對定位精度

        C軸轉角重復定位精度

        工作平面的平面度

        技術參數

        300X300mm

        0.05~1m/s

        2g

        0.4um?? (有補償)

        0.2um

        ±1um?? (有效行程)

        360°

        ±1.5角秒

        ±1角秒

        0.5um

        各單項可實現的最高指標

        4000X2500mm

        4m/s

        5g

        0.25um(與測量控制系統有關)

        0.02um(與測量控制系統有關)

        ±0.5um? (有效行程)

        360°

        ±1.5角秒

        ±1角秒

        0.3um

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